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Nippon Pillar Pillar Slurry Pump

台灣製造，品質國際水準，望各界支持！

用途：

在半導體製造的化學機械研磨(CMP)製程中提供研磨液(Slurry)的供應與循環

特點:

Bellows採垂直方向設計, 研磨液不會累積阻塞在Bellows中
High precipitation speed, 可用於金屬材料的Slurry(metal-base slurry)及矽基材料Slurry (Silica-base slurry).
獨特的且具經驗的Bellow設計,壽命長。
Pump與Slurry接觸的材料都由氟素塑膠材料製造, 保證清潔及不產生particle.
Slurry Pump與指定的蓄壓器(Accumulator)結合使用,可讓Slurry穩定的以低脈動輸出。

可提供產品型號

PS-E series 中溫型

型號 Type	最大吐出量(ℓ/min) Max. Discharge Capacity	Max. Supply air Pressure (MPa)	使用溫度(。C) Operating Temp.
PC-10MB	12	0.5	10~100
PC-20MB	24	0.5
PC-40MB	48	0.5

地址：新竹市西大路643巷53號6樓

電話：886-3-5240157

歡迎各界指教與愛護，若有需要服務，請與我們聯絡。

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